Phòng thí nghiệm trọng điểm quốc gia vật liệu linh kiện và điện tử

bộ phụ trách /Administrator PGS. TS. Phạm Văn Hội ĐT: (04)8360586; DĐ: 0913078107 Email: hoipv@ims.vast.ac.vn Cán bộ vận hành /Main Operator ThS. Phạm Thanh Bình ĐT: (04)8360586; DĐ: 0945621276 I. GIỚI THIỆU Hệ thống thiết bị chế tạo cách tử và màng dẫn sóng quang hoạt động theo nguyên tắc tạo ảnh giao thoa trên sợi quang hoặc màng. Được sử dụng để chế tạo: - Khắc cách tử trong sợi. - Chế tạo màng dẫn sóng quang. II. ĐẶC TÍNH CỦA HỆ THỐNG Nguồn LASER EXCIMER KrF (ASX-750) phát xạ tại bước sóng 248nm, năng lượng chùm tia khoảng 300mJ đến 390mJ, kích thước chùm tia là 22x8mm, độ rộng xung 10 ns, tần số lặp lại 5 – 50 Hz Hệ giao thoa gồm: - 1 phase mask có chu kỳ 560nm và 1 phase mask có chu kỳ 1060nm; 1 gương có độ phản xạ cao (góc tới 450); 2 gương giao thoa có độ phản xạ cao tại góc tới 620 - 780. - Thiết bị cơ học: 2 đế điều chỉnh quay chính xác (M-037.DG) bằng máy tính với góc quay giới hạn ±900; 1 đế dịch chuyển tịnh tiến (M-405.DG) ±25mm; 1 đế dịch chuyển tịnh tiến (M-410.DG) ±50mm; 1 đế quay để điều chỉnh phase mask; 2 giá kẹp sợi quang. - Hệ Camera với độ phân giải cao và màn hình theo dõi (CEM-09-11) Chế tạo các loại cách tử trong vùng bước sóng 1500nm có độ rộng phổ ∆l<0.1nm, bước sóng cách tử có độ chính xác cao (đến 0.1nm), hệ số phản xạ cao. I. INTRODUCTION Principle of Bragg grating writing system based on the light interferometer on fiber or thin film. It is used for: - Bragg grating writing on fiber - Fabricate optical waveguide film II. FEATURES The ASX-750 Excimer laser has the wavelength of 248nm with the beam energy from 300mJ to 390mJ, beam size 22x8mm, pulse width 10ns, and repetition rate 5– 50 Hz Interferometer components consist of: - 1 phase mask with the grating period 560nm and 1 phase mask with the grating period 1060nm; 1 HR-Mirror (high- reflective at 450 angle of incidence); 2 HR- interferometer mirrors (high-reflective at 620 - 780 angle of incidence). - Mechanical components: 2 precision rotation stages M-037.DG with a computer controlled travel angle of ±900; 1 precision linear stage M-405.DG with a travel range of ±25mm; 1 precision linear stage M-410.DG with a travel range of ±50mm; 1 goniometer stage for manual alignment of the phase mask; 2 fiber clamps for the mounting of the fiber. High-resolution Camera and CEM-09-11 display. 14 HỆ THỐNG LO NUNG LINDBERG/BLUE M THREE-ZONE TUBE FURNACES Nơi đặt máy /Location P 309, Nhà A2 Cán bộ phụ trách /Administrator KSC. Nguyễn Thị Thu Hà ĐT: 7564333 / ext 1137; DĐ: 0983545782 Email: hantt@ims.vast.ac.vn I. GIỚI THIỆU Hệ Lò nung Lindberg/Blue M Three-Zone Tube Furnaces với ống lò có nhiều loại kích thước (từ 3 inch đến 6 inch), với giải nhiệt độ cao đến 1100oC, cho phép nung, ủ các mẫu có kích thước tương đối lớn. Có thể điều khiển 3 vùng nhiệt độ trên ống lò, được kiểm soát bởi 3 cặp nhiệt loại K. Có thể đặt các mức tăng (hoặc giảm) và duy trì nhiệt độ theo thời gian bằng chương trình với tối đa 16 khoảng (bước). Điều khiển bằng tay hoặc bằng máy tính thông qua cổng ghép nối RS- 485 với phần mềm kèm theo của nhà cung cấp. II. ĐẶC TÍNH - Giải nhiệt độ làm việc: 200oC đến 1100oC - Kích thước ống lò: các loại ống lò đường kính ngoài từ 7.6cm đến 15.2cm - Vùng làm việc: 3 vùng, độ dài mỗi vùng tương ứng là 23cm, 45cm, 23cm - Điều khiển: 3 vùng lò, với tối đa 16 khoảng theo thời gian - Độ đồng đều nhiệt độ: ± 1.0oC trong mỗi vùng độ dài 35.5cm - Sai số nhiệt độ đặt: ± 3oC trong 3-5/16 khoảng đặt. - Nguồn nuôi: 208/240V, 50/60 Hz - Công suất 11KW. I. INTRODUCTION AND FEATURES Three-zone tube furnaces feature three 16- segment programmable controllers-one for each zone. Furnaces include K-type thermocouple (one per zone) and a set of tube adapters for the largest size tube the furnace will accept. The system can be manually operated or computerized by using an RS-485 communications port. II. SPECIFICATIONS Temp range: 200 to 1100oC Chamber size: Three zones: 9", 18", 9" accepts 3" to 6" OD process tubes Control type: Three, 16-segment Temp. uniformity: ± 1.0oC over 14" Temp. control accuracy: ± 3oC over 3-5/16" segment Overall dimensions: 54"W x 26"H x 22"D Power: AC 208/240V, 50/60 Hz, 11KW. 15 LÒ NUNG CHÂN KHÔNG NHIỆT ĐỘ CAO HIGH TEMPERATURE VACUUM FURNACE GSL1600-80X Nơi đặt máy /Location P309, Nhà A2 Cán bộ phụ trách /Administrator TS. Huỳnh Thị Hà ĐT: 7914 134 Email: haht@ims.vast.ac.vn I. GIỚI THIỆU CHUNG GSL1600-80X là hệ lò nung ống đứng dùng thanh đốt MoSi. Thiết bị được dùng rộng rãi cho các phòng thí nghiệm vật liệu và hoá học để tổng hợp các vật liệu mới trong điều kiện chân không hoặc các loại khí khác. Nhiệt độ của lò được điều khiển bởi bộ điều khiển với độ chính xác ±10C và chương trình hoá 51 thanh ghi đến 16000C (29120F). II. ĐẶC TÍNH KỸ THUẬT - Vật liệu ống lò: gốm Al2O3 siêu sạch - Kích thước ống: đường kính trong 70mm, đường kính ngoài 80mm, dài 1000mm - Nhiệt độ hoạt động tối đa: 16000C (29120F) - Nhiệt độ hoạt động thường xuyên: 15000C (2732 0F) - Tốc độ đốt tối đa: 100C/phút - Vùng nhiệt độ đồng đều: 150mm - Độ chính xác: ±10C - Điện áp : 1 pha, 220 V AC, 50/60 Hz - Công suất tối đa đầu ra: 5KW - Kích thước lò: 550 x 450 x 670 mm I. INTRODUCTION GSL1600-80X tubing furnace is a precision bench-top furnace using MoSi2 as heating elements. It is widely used for materials or chemical lab to sinter all types of new materials samples under vacuum or other gases condition. The temperature of GSL160-80X tubing furnace is controlled by high precision controller with accuracy ±1oC and 51 segments programmable up to 1600oC (2912 oF). II. MAIN FEATURES - Tube materials: high purity Al2O3 ceramic - Tube mize: ID: 70mm; OD: 80mm in diameter x 1000 mm length - Max. working temperature: 1600oC (2912oF); - Normal working temperature: 1500oC (2732oF) - Max. heating rate: 10oC/min - Constant temperature zone (Hot zone): 150mm - Temperature accuracy: ±1oC - Input: single phase, 220V AC, 50/60 Hz - Output: max. 5KW - Dimension: 550 L x 450 W x 670 H mm ( 21.7" L x 17.7" W x 26.4" H ) 16 HỆ THỐNG TỦ HÚT THE ADSORBENT SYSTEM Nơi đặt máy /Location P312, P310/A2, Viện Khoa học Vật liệu. Cán bộ phụ trách /Administrator ThS. Vũ Đức Chính Địa chỉ liên hệ: P120/A2, ĐT: 75 64 333/1161, Email: chinhvd@ims.vast.ac.vn. I. Tính năng kỹ thuật: Dùng cho các thí nghiệm hoá học tại phòng Hoá vật liệu, để hút các khí và hơi độc hại của các hoá chất sử dụng và các chất tạo ra trong suốt quá trình phản ứng nhằm bảo vệ sức khoẻ của những người tiến hành thí nghiệm. II. Hệ thống tủ hút phòng bao gồm 3 tủ hút kích thước 1,2m x 0,75m x 1,3m, có 3 mặt (mặt trước và 2 mặt bên) được lắp kính và mica để người tiến hành thí nghiệm dễ dàng quan sát những diễn biến của phản ứng xảy ra trong tủ hút. Mặt dưới của tủ hút được lát gạch chịu axit. Lưu lượng khí hút ra 1600 m3/giờ I. Effectiveness: It is used for chemical treatment and process to adsorb toxic gas of chemical substances, protecting the user’s health. II. The system includes 3 adsorbent boxes with the size 1,2m x 0,75m x 1,3m; 3 faces of them (opposite face and 2 sides) are fitted by glass and mica to observe easily the reactions. The bottom is fitted by brick standing acid. Gas output flow: 1600 m3/giờ 17 CỤM CÁC THIẾT BỊ NHỎ OTHER TOOLS Cán bộ phụ trách /Administrator PGS. Vũ Đình Lãm ĐT: Email: Cán bộ vận hành /Main Operator Ứng Thị Diệu Thuý ĐT:7564333/1153 Email: dieuthuy@ims.vast.ac.vn Vũ Đức Chính ĐT: 7564333/1161 Email: chinhvd@ims.vast.ac.vn DANH MỤC CÁC THIẾT BỊ Các thiết bị thí nghiệm: - Hệ nước cất 1 lần. - Hệ cất quay chân không (5mbar, 180oC). - Các máy khuấy từ gia nhiệt (370oC, 1100 vòng/phút). - Máy khuấy từ 5 vị trí, 120oC, 1100 vòng/phút. - Máy ly tâm 18000 vòng/ phút (Hettich zentrifugen – EBA 21) - Tủ sấy chân không 220oC/10-1Torr - Bình ổn nhiệt 25-100oC - Bơm dung dịch - Máy quay phủ (Spincoater) - Máy rung rửa siêu âm (Ultrasonic Cleaners) Các thiết bị phân tích nhanh: - Cân phân tích (Precisa XT220A) - May đo pH để bàn (InoLab pH 730) - Máy đo độ dẫn cầm tay (COND 330i / COND340i) - Máy đo độ nhớt - Kính hiển vi quang học (ML7520 optical microscopy)